工控設(shè)備1756-DH485/A 通信模塊A系列 全新原裝質(zhì)保一年

1．輸入/輸出單元

輸入/輸出單元通常也稱I/O單元或I/O模塊，是PLC與工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場之間的連接部件。

PLC通過輸入接口可以檢測被控對象的各種數(shù)據(jù)，以這些數(shù)據(jù)作為PLC對被控制對象進行控制的依據(jù)；同時PLC又通過輸出接口將處理結(jié)果送給被控制對象，以實現(xiàn)控制目的。

由于外部輸入設(shè)備和輸出設(shè)備所需的信號電平是多種多樣的，而PLC內(nèi)部CPU的處理的信息只能是標(biāo)準(zhǔn)電平，所以I/O接口要實現(xiàn)這種轉(zhuǎn)換。

I/O接口一般都具有光電隔離和濾波功能，以提高PLC的抗干擾能力。另外，I/O接口上通常還有狀態(tài)指示，工作狀況直觀，便于維護。

PLC提供了多種操作電平和驅(qū)動能力的I/O接口，有各種各樣功能的I/O接口供用戶選用。I/O接口的主要類型有：數(shù)字量（開關(guān)量）輸入、數(shù)字量（開關(guān)量）輸出、模擬量輸入、模擬量輸出等。

常用的開關(guān)量輸入接口按其使用的電源不同有三種類型：直流輸入接口、交流輸入接口和交/直流輸入接口。

常用的開關(guān)量輸出接口按輸出開關(guān)器件不同有三種類型：是繼電器輸出、晶體管輸出和雙向晶閘管輸出。

繼電器輸出接口可驅(qū)動交流或直流負(fù)載，但其響應(yīng)時間長，動作頻率低；而晶體管輸出和雙向晶閘管輸出接口的響應(yīng)速度快，動作頻率高，但前者只能用于驅(qū)動直流負(fù)載，后者只能用于交流負(fù)載。

PLC的I/O接口所能接受的輸入信號個數(shù)和輸出信號個數(shù)稱為PLC輸入/輸出（I/O）點數(shù)。I/O點數(shù)是選擇PLC的重要依據(jù)之一。當(dāng)系統(tǒng)的I/O點數(shù)不夠時，可通過PLC的I/O擴展接口對系統(tǒng)進行擴展。

2．通信接口

PLC配有各種通信接口，這些通信接口一般都帶有通信處理器。

PLC通過這些通信接口可與監(jiān)視器、打印機、其它PLC、計算機等設(shè)備實現(xiàn)通信。

PLC與打印機連接，可將過程信息、系統(tǒng)參數(shù)等輸出打印；與監(jiān)視器連接，可將控制過程圖像顯示出來；與其它PLC連接，可組成多機系統(tǒng)或連成網(wǎng)絡(luò)，實現(xiàn)更大規(guī)?？刂啤?/p>

與計算機連接，可組成多級分布式控制系統(tǒng)，實現(xiàn)控制與管理相結(jié)合。遠(yuǎn)程I/O系統(tǒng)也必須配備相應(yīng)的通信接口模塊。

3．智能接口模塊

智能接口模塊是一獨立的計算機系統(tǒng)，它有自己的CPU、系統(tǒng)程序、存儲器以及與PLC系統(tǒng)總線相連的接口。

它作為PLC系統(tǒng)的一個模塊，通過總線與PLC相連，進行數(shù)據(jù)交換，并在PLC的協(xié)調(diào)管理下獨立地進行工作。

PLC的智能接口模塊種類很多，如：高速計數(shù)模塊、閉環(huán)控制模塊、運動控制模塊、中斷控制模塊等。

刻蝕機作為芯片制造三大主設(shè)備之一，是我國打破壟斷、尋求“芯”突破的拳頭產(chǎn)品。刻蝕技術(shù)為硅片上做“微雕”，因此對設(shè)備的精密性、穩(wěn)定性要求極高，其關(guān)鍵難點在于保證晶圓表面的刻蝕一致性，而這很大程度上取決于刻蝕氣體的饋入方式。噴淋盤則是刻蝕機饋入刻蝕氣體的主要部件。

一個直徑近半米的噴淋盤上，均勻地分布著幾千個細(xì)小的圓孔，反應(yīng)氣體正是通過這些小孔進入反應(yīng)腔體，在射頻作用下形成均勻分布的等離子體。為了保證化學(xué)氣體均勻地進入反應(yīng)腔體，噴淋盤表面每一個圓孔的直徑、內(nèi)壁都要經(jīng)得起檢驗。

噴淋盤

如此超高精度及數(shù)量眾多的孔徑需要快速完成檢測，沒有硬核的技術(shù)方案，是萬萬不能的。?？怂箍狄揽孔陨磉^硬技術(shù)，開發(fā)出極具針對性的產(chǎn)品輕松應(yīng)對該難題，確保客戶產(chǎn)品高質(zhì)量交付，以下為詳細(xì)檢測方案：

檢測要求

噴淋盤幾千個小孔（不同客戶產(chǎn)品設(shè)計不同）直徑、位置度、圓度等特征尺寸測量；

需要批量檢測，要求測量重復(fù)性高，測量節(jié)拍快。

檢測難點

噴淋盤表面小孔數(shù)量多達幾千，軟件需要處理幾千個數(shù)據(jù)，對軟件運算能力有較高要求；

程序編寫難度大，步驟繁瑣。

解決方案

配置OPTIV Advance 8.6.2+ METUS，滿足平面幾何尺寸快速測量；

自動變焦鏡頭提供足夠的光學(xué)放大倍率，小孔細(xì)節(jié)輕松展示；

同軸光、輪廓光、6環(huán)8區(qū)表面環(huán)形光，多種光源配合，同時滿足圓柱通孔，錐形孔上下端面圓檢測要求；

METUS軟件強大的運算能力保證編程、測量、數(shù)據(jù)輸出過程不卡頓；

速度模式、報表輸出與測量并行功能，助力測量效率提升50%；

導(dǎo)入DXF圖紙編程，批量導(dǎo)入測量要素，編程簡單高效；

報表摘要功能，結(jié)合二次編輯圖片功能，快速定位、復(fù)測；

報告多樣化，可輸出Excel、CSV、TXT或按用戶需求定制。

導(dǎo)入DXF圖檔，在模型窗口快速編程

CAD圖形：直觀顯示小孔測量要素

OPTIV ADVANCE 8.6.2

?？怂箍祽{借創(chuàng)新的軟硬件技術(shù)，保證噴淋盤等大尺寸、大數(shù)據(jù)量的工件批量測量從理論走向?qū)嶋H，方案已成功應(yīng)用到多家噴淋盤廠商，后續(xù)?？怂箍祵⒊掷m(xù)在半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)力，為客戶提供優(yōu)質(zhì)可靠的解決方案。